避免静电荷的产生:
1.为了防止受到感应带电,应该避免靠近有可能带有静电荷的物体,或最少应有 30 cm 距离以减弱可能受到的影响。
(考虑问题:或需要有很大的工作空间,一般生产线空间有限,固此很多时候,这都不能满足。)
2. 增加环境湿度:环境的相对湿度对静电的产生有极大的关系:
(考虑问题:在某些对湿度不敏感的生产线,增加环境湿度绝对是一个压低静电产生量的方法。但现在很多生产线都对环境湿度有严格的要求,尤其在洁净室内,因为环境湿度超标或会做成:细菌生长,尘埃黏附,金属腐蚀,水汽冷凝,光刻退化,吸水变质,等等。)
3. 减低活动的速度和压力,减少摩擦和接触次数和面积,从而减少每次的静电荷产生量和累积速度。
(考虑问题:生产活动是由制程工艺决定,压力和面积不能随意更改。另外,生产速度以决定摩擦和接触次数是商业上的考量。)
4. 严谨选用材料, 利用材料的摩擦电序列 (tribocharging series)或透过测试,选用材料尽量与所接触的材料在摩擦电序列位置的附近。摩擦电序列表明,在序列上的材料,相差愈远,互相摩擦所产生的静电量愈高。
(考虑问题:材料的选择肯定是一个方向,但是,材料的选择会受很多条件影响,主条件还是在功能,减少静电产生是较不被重视的条件。)
静电的产生.最容易者莫过于摩擦。其所产生的电荷称为"摩擦电荷"(Tribocharging)。下图示出每当二种材料接触,由于在材料 A 中其原子核对其最外围电子的吸附力较小,因此附着到材料 B 上。最后 A 之极性为 "+", B 为 "-"。材料的分离速度、摩擦力、空气湿度的高低和材料种类等等都能影晌因摩擦而产生的静电量。
当一表面上有静电荷时,它就有电位,若附近有另一不同的电位,产生电压差,而距离又合符放电条件时,其电荷就以放电方式,把两电位等同。在放电时所产生的放电电流是强大,通常在 Ampere 级,但放电时间十分短促,通常在 nanosecond 级或 GHz 级。
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